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SK실트론 ‘초순수’ 정식공급…구미 반도체특화단지 유치 탄력1단계 구축 플랜트, 국내 최초 국산화로 반도체 초격차에 기여
구미시 제공

SK실트론이‘초순수’ 정식 공급을 결정함에 따라 구미 반도체특화단지 유치에 탄력이 붙을 예정이다.

초순수는 반도체 생산 공정에서 기판인 웨이퍼 표면의 이물질을 세척하기 위해 사용되는 용수로, 세척액이 오염되면 반도체 회로 공정에 치명적인 손상을 줄 수 있기 때문에 초순수는 미생물, 전해질, 유기물 등 불순물을 거의‘제로(0)’상태로 제거하는‘극정제화’작업을 거쳐 생산된다.

수돗물을 생산하는 정수장 공정이 7단계인 데 비해 초순수는 25단계의 공정을 거친다. 이런 세밀하고 복잡한 공정 때문에 일본, 미국, 유럽연합(EU) 등 선진국만 초순수 생산 기술을 보유하고 있다.

현재 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 초순수 시설은 일본·미국산 장치를 사용하며 일본 초순수 기업들이 설계 및 분석하고 있다.

이에 환경부와 한국수자원공사는 초순수 국산화를 위해 SK실트론 구미2공장에 하루 2,400톤 규모의 초순수 국산화 실증플랜트 구축을 추진하고 있다.

초순수 국산화 실증플랜트는 외산 플랜트와의 기술력 비교검증을 위해 총 3단계로 구축 운영할 계획이며, 이번에 정식공급하는 1단계 구축 플랜트는 그동안 외국에 의존했던 설계시공을 최초로 국산화한 플랜트로, 하루에 1,200톤의 초순수를 SK실트론 웨이퍼 공정에 공급할 예정이다.

또한, 금년 말까지는 개발중인 국내장비를 적용해 1,200톤의 초순수 국산화 플랜트(2단계)를 추가 구축하고, 플랜트 운영효율 향상을 위한 디지털 트윈 기반 운영시스템을 구축(3단계)해 성능평가를 완료할 예정이다. 초순수 국산화 실증 플랜트가 완성되면 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대하고 있다.

반도체 산업은 대표적인 물 다소비 산업으로, 사용 용수의 50%를 초순수 공업용수로 사용하고 있다. 반도체 산업의 필수 소재인 초순수의 국산화에 따라 반도체 소재부품 중심의 구미 반도체 특화단지 지정 당위성 또한 부각되고 있으며 반도체 소재부품 생산을 위한 생태계도 한층 더 견고해질 전망이다.

김장호 구미시장은“구미에서 시작한 초순수 국산화는 대한민국 반도체 소재부품 공급망 안정화와 자립화에 도화선 역할을 할 것이며, 반도체 소재부품산업 경쟁력 강화를 위해 구미 반도체특화단지 지정이 꼭 필요하다”며 관심과 지지를 요청했다.

김민정 기자  deconomic@naver.com

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