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ÄÉÀ̸޵ðÇãºê, °íÈ¿À² ´ë¸éÀû ³ª³ë ¼ÒÀç Á¦ÀÛ ±â¼ú °³¹ß
ÄÉÀ̸޵ðÇãºê¿Í ºÎ»ê´ëÇб³ ¿¬±¸ÁøÀº ³ÐÀº ¸éÀû¿¡ ³ª³ë ±âµÕÀ» ÁýÀûÇÒ ¼ö Àִ ±¤ÇР½Ã½ºÅÛ ¹× Á¦ÀÛ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ³í¹®À» ±¹Á¦ Àú³Î¿¡ °ÔÀçÇÏ¿´´Ù. »çÁøÀº ´ë¸éÀû ³ª³ë ±âµÕ ÁýÀû ½Ã½ºÅÛ ¹× À̸¦ À§ÇØ »ç¿ëµÈ, ¼ÒÀÇ ´«À» ¸ð»çÇÑ ³ª³ë ¸¶½ºÅ© ¹è¿­.

ÄÉÀ̸޵ðÇãºê(´ë±¸°æºÏ÷´ÜÀÇ·á»ê¾÷ÁøÈïÀç´Ü, ÀÌ»çÀå ¾çÁø¿µ)´Â ³ÐÀº ¸éÀû¿¡ ³ª³ë ¼ÒÀ縦 ¹è¿­ÇÏ¿© »õ±â´Âµ¥ ½Ã°£À» ´ÜÃà½ÃÅ°´Â ±¤ÇР½Ã½ºÅÛ ¹× Á¦ÀÛ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ³í¹®À» ±¹Á¦ Àú³Î¿¡ °ÔÀçÇÏ¿´´Ù.

ÄÉÀ̸޵ðÇãºê¿Í ºÎ»ê´ëÇб³ ¿¬±¸ÁøÀº ÀÌ·¯ÇÑ ½Ã½ºÅÛ °³¹ß ¹× Á¦ÀÛ±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇÑ ³í¹®ÀΠ‘¼ÒÀÇ ´«°ú °°Àº ÆÐÅÏÀÌ ¸ð»çµÈ ³ª³ë ¸¶½ºÅ© ¹è¿­ È°¿ë ±¤ ±â¹Ý °íÈ¿À² ´ë¸éÀû ³ª³ë ¼ÒÀç Á¦ÀÛ±â¼ú °³¹ß(Advanced optical nanolithography by enhanced transmission through bull's eye nanostructured meta-mask)’¸¦ ¹ßÇ¥ÇÏ¿´´Ù.

¿©·¯ °³ÀÇ ³ª³ë ±âµÕÀ¸·Î ÀÌ·ïÁø ¹è¿­ Á¦ÀÛ¿¡¼­ ÇÊ¿äÇÑ ±â¼ú Áß Çϳª´Â ³ÐÀº ¸éÀû¿¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ³ª³ë ±âµÕÀ» ÁýÀûÇϴ °ÍÀÌ´Ù.

±âÁ¸ÀÇ ÀüÀÚºöÀ» È°¿ëÇÑ ÁýÀûÀº Áø°ø Á¶°ÇÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°í, ³ÐÀº ¿µ¿ª¿¡ ³ª³ë ±âµÕ ¹è¿­À» »õ±â±â¿¡ ¸¹Àº ½Ã°£ÀÌ °É¸®±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.

À̹ø¿¡ ¹ßÇ¥µÈ ¿¬±¸¿¡¼­´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î ´ÜÀ§ÀÇ ´ë¸éÀû ±¸Á¶ ÁýÀû¿¡ È°¿ëµÇ°í Àִ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ(photolithography)¿¡ ¼ÒÀÇ ´«°ú °°ÀÌ ¿©·¯ °³ÀÇ ¸µ °ÝÀÚ°¡ ¸ð»çµÈ ºÒ½º¾ÆÀÌ(Bull’s eye) ³ª³ë ¸¶½ºÅ© ¹è¿­À» Àû¿ëÇØ ´ë¸éÀûÀ¸·Î ³ª³ë Å©±âÀÇ ±âµÕ ¹è¿­À» ÁýÀûÇÒ ¼ö Àִ ½Ã½ºÅÛÀ» ¹× Á¦ÀÛ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù.

ÇØ´ç ³í¹®Àº ÄÉÀ̸޵ðÇãºê ÃÖÁ¾·ü ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø(°øµ¿ ±³½ÅÀúÀÚ)ÀÌ ºÎ»ê´ëÇб³ ±¤¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º°øÇаú ±è±ÔÁ¤ ±³¼ö(°øµ¿ ±³½ÅÀúÀÚ), ±èÅ¿¬ ¹Ú»ç°úÁ¤(1ÀúÀÚ) µî ¿¬±¸ÆÀÀ» ÀÌ·ç¾î ÇÔ²² ÁغñÇÏ¿´´Ù.

±Ý¼ÓÀ¸·Î ÀÌ·ïÁø ³ª³ë ±âµÕÀº °í°¨µµ ¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­, °íÇػ󵵠¼¼Æ÷ ¿µ»ó µî¿¡ È°¿ëµÇ´Â ³ª³ë ±¸Á¶ Áß Çϳª·Î, Áúº´ Áø´Ü, »ýü ¿Ü ¼¼Æ÷ ´ÜÀ§ ¿¬±¸ È°¿ë¿¡ ÃÖ±Ù ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

ÄÉÀ̸޵ðÇãºê¿Í ºÎ»ê´ëÇб³ ¿¬±¸ÁøÀº ÇâÈÄ ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀ» ³ª³ë¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­, °í°¨µµ Áø´Ü±â¼ú, °íÇػ󵵠±¤ÇР¿µ»ó ±â¼úÀÇ ¿¬±¸°³¹ß¿¡ È°¹ßÇÏ°Ô Àû¿ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

¾çÁø¿µ ÄÉÀ̸޵ðÇãºê ÀÌ»çÀåÀº “³ª³ë ¼ÒÀç´Â ¹ÝµµÃ¼, ¹ÙÀÌ¿À, ÀǷᠺо߿¡¼­ È°¹ßÇÏ°Ô ÀÀ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù”¸ç “À̹ø ±â¼ú°³¹ßÀ» ÅëÇØ ÀÇ·á¿ë ³ª³ë ¼¾¼­, ³ôÀº °¨µµ¿Í Á¤¹Ðµµ¸¦ °®´Â Áø´Ü±â¼ú, °íÇػ󵵠»ýü ¿Ü ¹ÙÀÌ¿À·ÀÇ·á ¿µ»ó±â¼ú °øµ¿¿¬±¸°³¹ß ¹× »ê¾÷È­¿¡ ¾ÕÀå¼­±â¸¦ ±â´ëÇÑ´Ù.”¶ó°í ¹àÇû´Ù.

ÇÑ»ó°© ±âÀÚ  arira6@naver.com

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © µðÁöÅаæÁ¦, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

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